特許

J-GLOBAL ID：200903086056774570

薄膜圧電共振器と薄膜圧電フィルタ

発明者： 岩下 和樹 ,  田中 謙介 ,  丸山 卓也 ,  木村 博文 ,  西村 浩介
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-187362
公開番号（公開出願番号）：特開2006-013839
出願日： 2004年06月25日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】 薄膜圧電フィルタを構成する並列共振子の周波数調整を精度良く行うための材料選択方法と共振器構造およびそれを用いた薄膜圧電フィルタを提供する。【解決手段】 本発明の薄膜圧電共振器は、圧電薄膜と、該圧電薄膜を挟むように形成された下部電極および上部電極と、該下部電極または該上部電極に接して設けられた周波数調整膜とを有し、前記周波数調整膜の音響インピーダンスが、前記周波数調整膜の接している下部電極または上部電極の音響インピーダンスより小さい。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

圧電薄膜と、該圧電薄膜を挟むように形成された下部電極および上部電極と、該下部電極または該上部電極に接して設けられた周波数調整膜とを有する薄膜圧電共振器であって、前記周波数調整膜の音響インピーダンスが、前記周波数調整膜の接している下部電極または上部電極の音響インピーダンスより小さいことを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/58 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/02 M ,  H03H9/58 A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z

Fターム (10件)：

5J108AA02 ,  5J108AA07 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第5,894,647号公報
  
• 共振器の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-057312   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

審査官引用 (4件)

• フィルタ、フィルタ装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-263405   出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
• 圧電薄膜振動子及びその周波数調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-225517   出願人：松下電器産業株式会社
• 圧電薄膜素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-152870   出願人：三菱電機株式会社
• バルク音響波フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-207106   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 弾性波素子技術ハンドブック, 19911130, 130
• 弾性波素子技術ハンドブック, 19911130, 130