特許
J-GLOBAL ID：200903048333076240

膜形成装置及び膜形成方法、電気光学装置、並びに電子機器

発明者：
町田 佳彦

町田 佳彦 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-326717
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160296
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】輝度、発光色のムラの発生を抑えた電気光学素子を形成する膜形成装置及び膜形成方法等を提供する。【解決手段】加熱機構3上に載置された基板2の表面に対向する平面部6bを有する板体6を備えてなり、基板2上に塗布された液体材料の乾燥時に、平面部6bと基板2の表面との間に一定の間隔dを維持しつつ、基板2の表面を覆う制御部材5を備える。板体6には、複数の貫通孔7が穿設されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に塗布された、膜形成成分を含有する液体材料を乾燥させることにより膜を形成する膜形成装置において、 載置された前記基板を加熱する加熱機構と、 前記基板の表面に対向する平面部を有し、前記平面部と前記基板の表面との間に間隔を維持しつつ、前記基板の表面を覆い、前記液体材料に含有する溶媒の蒸散を制御する制御部材を備えることを特徴とする膜形成装置。
IPC (5件)：
B05C9/14 ,  B05C5/00 ,  B05D3/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
B05C9/14 ,  B05C5/00 101 ,  B05D3/02 B ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (34件)：
3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075BB24Z ,  4D075BB36Z ,  4D075BB91Z ,  4D075CA48 ,  4D075CB08 ,  4D075DB13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA33 ,  4D075EC07 ,  4D075EC17 ,  4D075EC30 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA46 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042BA08 ,  4F042BA13 ,  4F042BA19 ,  4F042DB01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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