透明導電膜のシート抵抗値の調整方法及び透明導電膜の形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大石治仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319809
公開番号（公開出願番号）：特開2002-133956
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】透明導電膜のシート抵抗値を、簡易かつ効率よく所望のシート抵抗値に調整する方法、及び高い可視光線透過率を有し、かつ均一な膜質の透明導電膜を簡易かつ歩留り良く形成する方法を提供する。【解決手段】(1)透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法、(2)基板上に直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法、又は(3)基板上に直接又はその他の膜を介して透明導電膜を形成する工程と、前記透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程とを有する透明導電膜の形成方法。

請求項（抜粋）：

透明導電膜を所定の濃度の有機溶剤の存在下に加熱処理する工程を有する透明導電膜のシート抵抗値の調整方法。

IPC (6件)：

H01B 13/00 503 , C23C 14/08 , C23C 14/58 , C23C 16/40 , C23C 16/56 , G06F 3/033 360

FI (7件)：

H01B 13/00 503 B , C23C 14/08 D , C23C 14/08 C , C23C 14/58 Z , C23C 16/40 , C23C 16/56 , G06F 3/033 360 H

Fターム (27件)：

4K029BA45 , 4K029BA47 , 4K029BA49 , 4K029BC09 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029EA01 , 4K029GA00 , 4K029GA01 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030BA11 , 4K030BA42 , 4K030BA45 , 4K030BA47 , 4K030DA08 , 4K030DA09 , 4K030LA01 , 5B087AA00 , 5B087CC13 , 5B087CC16 , 5G323BA02 , 5G323BB03 , 5G323BB05 , 5G323BB06 , 5G323BC03

引用特許：

審査官引用 (6件)

透明導電膜のシート抵抗値の調整方法及び透明導電膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-208947 出願人：日本曹達株式会社
特開平4-026768
透明導電膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-040851 出願人：日本板硝子株式会社

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