特許
J-GLOBAL ID：200903048545411928
電気化学デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-620150
公開番号（公開出願番号）：特表2003-500534
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：
【要約】この発明は、陰極スパッタ装置、特に磁場アシスト装置、の本質的に金属のターゲットに関し、該ターゲットは強磁性を減少もしくは消去するために少くとも1つの他の少ない元素と合金化されたニッケルから主としてなる。さらに、この発明はニッケル合金酸化物にもとづく薄層として、陽極発色を有するエレクトロクロミック物質を製造するためのターゲットの使用に関する。
請求項（抜粋）：
陰極スパッタ装置、特に磁場アシスト装置、の本質的に金属のターゲットであり、該ターゲットは主にニッケルからなり、ニッケルはその強磁性を減少もしくは消去するために少くとも1つの他の少ない元素と合金化されることを特徴とするターゲット。
IPC (5件)：
C23C 14/34
, C22C 19/03
, C23C 14/08
, G02F 1/15 502
, G02F 1/15 505
C23C 14/34 A
, C22C 19/03 G
, C23C 14/08 K
, G02F 1/15 502
, G02F 1/15 505
2K001CA18
, 4K029AA09
, 4K029BA50
, 4K029BD00
, 4K029CA06
, 4K029DC04
