バルブ機構及び基板収納容器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-124631
公開番号（公開出願番号）：特開2009-277687
出願日： 2008年05月12日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

【課題】金属部品からイオン成分が溶出して基板の汚染等を招くのを抑制し、構成の簡素化を図ることのできるバルブ機構及び基板収納容器を提供する。【解決手段】保持筒31と、保持筒31の部分的に開口した表面を被覆するフィルタ37と、保持筒31に内蔵される中蓋筒38と、保持筒31の開口裏面側に螺嵌される有底円筒形の固定筒44と、中蓋筒38と固定筒44の間に介在されて気体の流通を制御する弁体50とを備え、保持筒31と固定筒44を樹脂含有の成形材料により成形し、固定筒44の底部52に、気体流通用の通気口45を穿孔する。また、弁体50を、弾性材料により成形して保持筒31と固定筒44の螺嵌方向に伸縮可能にするとともに、弁体50の底部52を通気口45に接離可能に接触させ、弁体50を圧縮してその底部52を通気口45から離隔させることにより、保持筒31と固定筒44の間で気体をフィルタ37を介して流通させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

略筒形の保持筒と、この保持筒の部分的に開口した表面を被覆するフィルタと、保持筒の開口裏面側に嵌め合わされる有底筒形の固定筒と、保持筒と固定筒との間に介在されて気体の流通を制御する弁体とを含むバルブ機構であって、保持筒と固定筒とをそれぞれ樹脂含有の成形材料により構成し、固定筒の底部に、気体流通用の通気口を設け、弁体を、弾性材料により形成して保持筒と固定筒との嵌め合わせ方向に伸縮可能とするとともに、この弁体の底部を固定筒の通気口に接離可能に接触させ、弁体を圧縮してその底部を固定筒の通気口から離隔させることにより、保持筒と固定筒との間で気体をフィルタを介して流通させるようにしたことを特徴とするバルブ機構。

IPC (3件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86 , B65D 51/16

FI (3件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R , B65D51/16 C

Fターム (34件)：

3E084AA05 , 3E084AA14 , 3E084AA24 , 3E084AB10 , 3E084BA01 , 3E084CA03 , 3E084CC03 , 3E084DA03 , 3E084DB14 , 3E084DC03 , 3E084KA09 , 3E084LA17 , 3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB04 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA17 , 3E096DA18 , 3E096DA26 , 3E096DA30 , 3E096DB01 , 3E096DC02 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA03 , 3E096FA08 , 3E096GA13 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA14 , 5F031EA20 , 5F031PA23

引用特許：

出願人引用 (1件)

収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-311275 出願人：信越ポリマー株式会社

審査官引用 (7件)

基板収納容器及び逆止弁
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-239241 出願人：信越ポリマー株式会社
基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-344954 出願人：信越ポリマー株式会社
特開平4-066782

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