イオン源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-140318
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019388
出願日： 2004年05月10日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】アノード電極の微小開口から高圧噴射された原料ガスをカソード電極との間に滞留させることなく噴射方向へ流し,且つ,噴射された原料ガスのイオン化効率を向上させて良好なプラズマを生成すると共に,消費電力の低減を図ること。【解決手段】微小開口7を有するアノード電極2から上記微小開口7よりも大きなイオン引き出し開口11を有するカソード電極3のイオン引き出し開口11に向かって高圧噴射された原料ガスを、アノード電極2とカソード電極3との間に印加した高電圧により放電、プラズマ化してなるイオン源1において、前記カソード電極3が、そのイオン引き出し開口11を含む放電形成箇所をアノード電極2の微小開口7に近接配置されるとともに、放電形成箇所のイオン引き出し開口11の外周にイオン引き出し開口11と同心の開口12を有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

微小開口を有するアノード電極からこのアノード電極よりも大きなイオン引き出し開口を有するカソード電極のイオン引き出し開口に向かって高圧噴射された原料ガスを,アノード電極とカソード電極との間に印加した高電圧により放電,プラズマ化してなるイオン源において,前記カソード電極が,そのイオン引き出し開口を含む放電形成箇所をアノード電極の微小開口に近接配置されるとともに,放電形成箇所のイオン引き出し開口の外周にイオン引き出し開口と同心の開口を有することを特徴とするイオン源。

IPC (2件)：

H01J27/20 , H01J37/08

FI (2件)：

H01J27/20 , H01J37/08

Fターム (6件)：

5C030DD04 , 5C030DD10 , 5C030DE01 , 5C030DG05 , 5C030DG07 , 5C030DG09

引用特許：

出願人引用 (2件)

イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-093213 出願人：株式会社神戸製鋼所
特許第3436219号公報

審査官引用 (4件)

グロー放電型イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-299239 出願人：日本電子株式会社
イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-093213 出願人：株式会社神戸製鋼所
イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-144664 出願人：株式会社神戸製鋼所

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