特許

J-GLOBAL ID：200903048799376790

近接場分光装置及び光ファイバプローブの作成方法

発明者： 成田 貴人 ,  佐藤 文則 ,  井上 勉 ,  斎藤 臣也 ,  宮島 達哉 ,  坂巻 徹 ,  小島 信
出願人/特許権者： 日本分光株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-286436
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125454
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】近接場分光装置のバックグラウンド光による影響を低減すること。【解決手段】所定波長のレーザ光を照射する光照射手段10と、表面が金属又は誘電体で被覆され先端部に微小な開口部を持つ光ファイバプローブ12と、試料による発光を分光する分光手段14と、を備え、前記レーザー光を前記光ファイバプローブ開口部から試料22に近接場として照射し、該近接場による試料22の発光を集光し前記分光手段14へと送る近接場分光装置において、前記レーザ光の波長を含む波長領域を除去するフィルタ16を備え、前記光ファイバプローブ12の開口部近傍で光密度を高くし、試料からの発光を前記フィルタ16に透過させることにより多光子励起に伴う発光を選択的に前記分光手段14に送ることを特徴とする近接場分光装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定波長のレーザ光を照射する光照射手段と、表面が金属又は誘電体で被覆され先端部に微小な開口部を持つ光ファイバプローブと、試料による発光をスペクトル測定する分光手段と、を備え、前記レーザー光を前記光ファイバプローブ開口部から試料に近接場として照射し、該近接場による試料の発光を集光し前記分光手段へと送る近接場分光装置において、 前記レーザ光の波長を含む波長領域を除去するフィルタを備え、 前記光ファイバプローブの開口部近傍で光密度を高くし、 試料からの発光を前記フィルタに透過させることにより多光子励起に伴う発光を選択的に前記分光手段に送ることを特徴とする近接場分光装置。

IPC (5件)：

G01N13/14 ,  G01B11/30 ,  G01N21/27 ,  G01N21/39 ,  G12B21/06

FI (5件)：

G01N13/14 B ,  G01B11/30 Z ,  G01N21/27 C ,  G01N21/39 ,  G12B1/00 601C

Fターム (42件)：

2F065AA49 ,  2F065DD12 ,  2F065FF00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL25 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD13 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG08 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059MM03 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 近接場光検出光学系、近接場光学装置、およびそれらを用いた光学情報の検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-200259   出願人：株式会社東芝, 財団法人神奈川科学技術アカデミー, 日本分光株式会社
• 走査型近接場光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-031413   出願人：株式会社ニコン
• 近接場顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-345372   出願人：日本分光株式会社
• 近接場光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-283359   出願人：キヤノン株式会社