特許
J-GLOBAL ID:200903048804341860
音響光学素子を用いた分光光源装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-221120
公開番号(公開出願番号):特開平10-122959
出願日: 1997年08月01日
公開日(公表日): 1998年05月15日
要約:
【要約】【課題】 音響光学素子での分光波長の純度を高め、取り出した1次回折光への0次光の混入を抑える。【解決手段】 ミラー及びレンズを含む光源光学系により、光源光が音響光学素子4の入射面に対し平行光となって入射する。音響光学素子4からの0次光26、+1次回折光22及び-1次回折光24はレンズ20の焦点面上に集光し、+1次回折光22と-1次回折光24はレンズ20の焦点面上に配置された分岐光ファイバの端部32,34にそれぞれ入射する。+1次回折光22と-1次回折光24の光路は、空間的な位置を互いに離すためにそれぞれプリズム28,30により曲げられており、分岐光ファイバの端部32,34はそれぞれの曲げられた光路上に配置されている。分岐光ファイバの端部32,34に入射した+1次回折光22と-1次回折光24は、その分岐光ファイバの他端で同一光軸上に合成された後に測定対象に照射される。
請求項(抜粋):
ランプ光源と、音響光学結晶に音響波トランスデューサを備え音響光学結晶に与える音響波周波数を変化させて分光を行なう分光素子としての音響光学素子と、前記光源からの光を前記音響光学素子の窓口のサイズより小さい光束で、かつ前記音響光学素子の許容角度よりも小さい伝播角度をもった光線として前記音響光学素子に入射させる光源光学系と、前記音響光学素子から出射した0次光、+1次回折光及び-1次回折光をそれぞれ互いに空間的に異なる位置に集光する集光光学系と、前記集光光学系により集光された+1次回折光と-1次回折光のうちの少なくとも一方を測定対象に照射する照射光学系とを備えたことを特徴とする分光光源装置。
IPC (4件):
G01J 3/12
, G01N 21/01
, G01N 21/27
, G02F 1/11 505
FI (4件):
G01J 3/12
, G01N 21/01 D
, G01N 21/27 Z
, G02F 1/11 505
引用特許:
審査官引用 (10件)
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光源装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-319443
出願人:株式会社京都第一科学
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光熱変位計測による試料評価方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-068265
出願人:株式会社神戸製鋼所
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光学発振器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-216385
出願人:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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