特許
J-GLOBAL ID：200903048935205679

欠陥検査装置およびそれを用いた欠陥検査方法

発明者：
戸村 寧男

戸村 寧男 について

, 
山崎 拓也

山崎 拓也 について


出願人/特許権者：
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-131480
公開番号（公開出願番号）：特開2003-322622
出願日： 2002年05月07日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：
【要約】【課題】 複数の欠陥検出器がそれぞれ検出した被検査材の欠陥情報に基づいて、被検査材の合否判定を行う際、被検査材の欠陥数を正確に求めることができる欠陥検査装置およびそれを用いた欠陥検査方法を提供する。またさらに、この欠陥数により被検査材の合否判定を行う欠陥検査装置およびそれを用いた欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 欠陥検出器を複数有する欠陥検査装置であって、複数の欠陥検出器と、それぞれの欠陥検出器から送られてくる被検査材の欠陥情報を比較・照合することにより、それぞれの欠陥検出器が検出した欠陥が同じ欠陥であるのか、否かを判別する判別器とを備えた欠陥検査装置およびそれを用い、それぞれの欠陥検出器から送られてくる被検査材の欠陥情報を比較・照合することにより、それぞれの欠陥検出器が検出した欠陥が同じ欠陥であるのか、否かを判別する欠陥検査方法。
請求項（抜粋）：
欠陥検出器を複数有する欠陥検査装置であって、複数の欠陥検出器と、それぞれの欠陥検出器から送られてくる被検査材の欠陥情報を比較・照合することにより、それぞれの欠陥検出器が検出した欠陥が同じ欠陥であるのか、否かを判別する判別器とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/892 ,  C23C 2/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 27/83 ,  G01N 29/22 501
FI (5件)：
G01N 21/892 B ,  C23C 2/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 27/83 ,  G01N 29/22 501
Fターム (45件)：
2F069AA02 ,  2F069AA60 ,  2F069BB19 ,  2F069BB34 ,  2F069CC06 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG13 ,  2F069GG59 ,  2F069GG68 ,  2F069HH11 ,  2F069QQ01 ,  2G047AA07 ,  2G047AB04 ,  2G047AD11 ,  2G047BC07 ,  2G047GA18 ,  2G047GA20 ,  2G047GA21 ,  2G047GG37 ,  2G047GG46 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA15 ,  2G051EA12 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  2G053AA11 ,  2G053AB22 ,  2G053BA02 ,  2G053BA15 ,  2G053BB03 ,  2G053BB08 ,  2G053CB13 ,  2G053CB24 ,  2G053DA01 ,  2G053DB05 ,  4K027AA02 ,  4K027AA05 ,  4K027AA22 ,  4K027AB42 ,  4K027AE21
引用特許：
審査官引用 (6件)
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