特許
J-GLOBAL ID:200903007375160323

表面欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-284238
公開番号(公開出願番号):特開2002-090305
出願日: 2000年09月19日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】被検査体の両面に現れるような程度の悪い欠陥の種別、程度を高い精度で判定する。【解決手段】被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合することによって疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部17を具備する。
請求項(抜粋):
被検査体の表裏両面をそれぞれ検査する疵検査部と、この疵検査部の表裏両面の検出信号に基づいて疵を評価する判定部とを具備してなることを特徴とする表面欠陥検査装置。
Fターム (17件):
2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC05 ,  2G051ED03 ,  2G051FA10
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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