特許
J-GLOBAL ID:200903007375160323
表面欠陥検査装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-284238
公開番号(公開出願番号):特開2002-090305
出願日: 2000年09月19日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】被検査体の両面に現れるような程度の悪い欠陥の種別、程度を高い精度で判定する。【解決手段】被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合することによって疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部17を具備する。
請求項(抜粋):
被検査体の表裏両面をそれぞれ検査する疵検査部と、この疵検査部の表裏両面の検出信号に基づいて疵を評価する判定部とを具備してなることを特徴とする表面欠陥検査装置。
Fターム (17件):
2G051AA37
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051AC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051EC05
, 2G051ED03
, 2G051FA10
引用特許:
出願人引用 (6件)
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帯状体の表面欠陥検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-335469
出願人:日本鋼管株式会社
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特開平4-184245
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表面欠陥検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-194995
出願人:住友金属工業株式会社
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金属帯の表面検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-203802
出願人:日新製鋼株式会社
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表面疵検査方法および装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-010834
出願人:川崎製鉄株式会社
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欠陥検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-239201
出願人:住友金属工業株式会社
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審査官引用 (5件)
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帯状体の表面欠陥検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-335469
出願人:日本鋼管株式会社
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特開平4-184245
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表面欠陥検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-194995
出願人:住友金属工業株式会社
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