テラヘルツ波を用いた対象物の情報取得装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-339295
公開番号（公開出願番号）：特開2008-151618
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】テラヘルツ波を用いて対象物の内部構造の情報を高い分解能で取得できる情報取得装置及び方法を提供する。【解決手段】情報取得装置は、発生器9と検出器10と第1遅延手段15と第2遅延手段16と算出手段を有する。発生器9は、第1の光で励起されてテラヘルツ波をパルスで発生する。検出器10、第1の光とコヒーレントな第2の光で励起されて、テラヘルツ波のパルスで照射される対象物2からのテラヘルツ波を検出する。第1遅延手段15は、対象物2からのテラヘルツ波のパルス信号を検出器10で検出できる様に遅延時間を変更する。第2遅延手段16は、検出器10で検出されるパルス信号の時間幅以下で遅延時間を変更する。算出手段は、第1遅延手段15による遅延時間において第2遅延手段で遅延時間が変更されるときに検出器10で検出される信号の情報を基に、対象物2からのテラヘルツ波のパルス信号のピークの時間位置の情報を算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

テラヘルツ波を用いて対象物の情報を取得する情報取得装置であって、第1の光で励起されてテラヘルツ波をパルスで発生する発生器と、前記第1の光とコヒーレントな第2の光で励起されて、前記テラヘルツ波のパルスで照射される対象物からのテラヘルツ波を検出する検出器と、前記対象物からのテラヘルツ波に含まれるパルス信号を前記検出器で検出できる様に前記第1の光に対する前記第2の光の遅延時間を変更する第1遅延手段と、前記検出器で検出されるパルス信号の時間幅以下で前記遅延時間を変更する第2遅延手段と、前記第1遅延手段による遅延時間において前記第2遅延手段で前記遅延時間が変更されるときに前記検出器で検出される信号の情報を基に、前記対象物からのテラヘルツ波に含まれるパルス信号のピークの時間位置の情報を算出する算出手段と、を備えることを特徴とする情報取得装置。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (17件)：

2G059AA01 , 2G059AA03 , 2G059BB08 , 2G059BB12 , 2G059BB15 , 2G059BB16 , 2G059EE01 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ30 , 2G059KK01 , 2G059MM20

引用特許：

出願人引用 (2件)

検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-057176 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
イメージング方法及びその関連装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-500192 出願人：テラビューリミテッド

審査官引用 (6件)

非平面的試料を調査するための方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-524424 出願人：テラビューリミテッド
イメージング方法及びその関連装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-500192 出願人：テラビューリミテッド
光路長制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-155314 出願人：キヤノン株式会社

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