特許
J-GLOBAL ID：200903049164156707

シート貼付装置及び貼付方法

発明者：
大塚 昌久

大塚 昌久 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-194228
公開番号（公開出願番号）：特開2009-032853
出願日： 2007年07月26日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：
【課題】被着体に貼付された接着シートを切断する際に、切断刃と被着体とを非接触な状態に保つことで被着体や切断刃の損傷要因を一掃することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供する。【解決手段】平面内に位置するリングフレームRFと半導体ウエハWとを支持する支持手段12と、リングフレームRFと半導体ウエハWとの相対位置に接着シートSを繰り出す繰出手段13と、接着シートSをリングフレームRF及び半導体ウエハWに押圧する押圧手段14と、接着シートSをリングフレームRFの外周よりも内側で切断する切断手段15と、接着シートSとリングフレームRFとの間に空間Cを形成するクリアランス形成手段16とを含んでシート貼付装置10が構成されている。同装置10は、前記切断手段15で接着シートSを切断する際に、切断刃40の先端がリングフレームRFの面に対して非接触な状態で切断が可能となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体を支持する支持手段と、当該被着体の相対位置に帯状の接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段と、前記接着シートを被着体の外周よりも内側で切断する切断手段と、前記接着シートを切断するときに、当該接着シートと被着体との間に空間を形成するクリアランス形成手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (4件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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