特許
J-GLOBAL ID：200903089638479938

光除電装置

発明者：
藤田 司

藤田 司 について

, 
西岡 啓一

西岡 啓一 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243494
公開番号（公開出願番号）：特開2006-066075
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】発生する軟X線のエネルギーと発生量とを個別に制御することが可能な汎用性に優れた光除電装置を低コストで提供する。【解決手段】光除電装置は、軟X線を発生するための真空管である軟X線発生器10と高圧電源回路と制御部とを備え、軟X線発生器10は、陰極である電子源12と、陽極であるターゲット13と、電子源12及びターゲット13間に配置されたグリッド14と、電子源12から出た電子がターゲット13に衝突することによって発生する軟X線を外部に放射するための窓15,13とを有し、高圧電源回路は、電子源12とグリッド14との間に印可される電子発生電圧Vgと、グリッド14とターゲット13との間に印可される加速電圧Vaとを発生し、制御部は、高圧電源回路が発生する電子発生電圧Vgと加速電圧Vaとを個別に可変制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
空気等の気体に軟X線を照射して気体をイオン化し、イオン化された気体を用いて帯電物の除電を行う光除電装置であって、 前記軟X線を発生するための真空管である軟X線発生器と高圧電源回路と制御部とを備え、 前記軟X線発生器は、陰極である電子源と、陽極であるターゲットと、前記電子源及びターゲット間に配置されたグリッドと、前記電子源から出た電子がターゲットに衝突することによって発生する軟X線を外部に放射するための窓とを有し、 前記高圧電源回路は、前記電子源と前記グリッドとの間に印可される電子発生電圧と、前記グリッドと前記ターゲットとの間に印可される加速電圧とを発生し、 前記制御部は、前記高圧電源回路が発生する前記電子発生電圧と前記加速電圧とを個別に可変制御することを特徴とする光除電装置。
IPC (5件)：
H05F 3/06 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/02 ,  H01J 35/06 ,  H01J 35/08
FI (7件)：
H05F3/06 ,  G21K5/00 A ,  G21K5/00 W ,  G21K5/02 X ,  H01J35/06 B ,  H01J35/08 B ,  H01J35/08 F
Fターム (2件)：
5G067DA24 ,  5G067EA01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第2951477号公報
審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM