特許
J-GLOBAL ID:200903049233788010

収縮による熱分離を有する放射検出器およびその放射検出器を用いた赤外線検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-315319
公開番号(公開出願番号):特開2006-126203
出願日: 2005年10月28日
公開日(公表日): 2006年05月18日
要約:
【課題】機械的安定性を低下させることなく、放射検出器の膜の熱分離を最適化する。【解決手段】放射検出器であって、入射電磁放射を熱量に変換する吸収部と、温度の変化によって周知の様式で抵抗率が変化する放射材料からなる感応領域と、少なくともそれらの表面領域の一部を覆う前記放射材料に接触している電極とからなる活性部と、前記検出器に接続された読取回路を収容する基板の上方に浮かされて支持される前記活性部を支持するとともに、前記読取回路と前記活性部の間の伝導を確保する支持領域または支柱と、を備えた放射検出器において、前記支持領域または支柱は不均一な断面領域を有し、該不均一な断面領域は、前記支持領域または支柱と前記基板との接点と、前記支持領域または支柱が前記活性部と連結される領域との間、あるいは、前記支持領域または支柱が不均一性を有する部材と接続される領域との間にあることを特徴とする放射検出器。【選択図】図3
請求項(抜粋):
放射検出器であって、 入射電磁放射を熱量に変換する吸収部と、 温度の変化によって周知の様式で抵抗率が変化する放射材料からなる感応領域(6)と、少なくともそれらの表面領域の一部を覆う前記放射材料(6)に接触している電極(11)とからなる活性部(2)と、 前記検出器に接続された読取回路を収容する基板(1)の上方に浮かされて支持される前記活性部を支持するとともに、前記読取回路と前記活性部の間の伝導を確保する支持領域または支柱(3)と、を備えた放射検出器において、 前記支持領域または支柱(3)は不均一な断面領域を有し、 該不均一な断面領域は、前記支持領域または支柱(3)と前記基板との接点と、前記支持領域または支柱(3)が前記活性部と連結される領域との間、あるいは、前記支持領域または支柱(3)が不均一性を有する部材(9)と接続される領域との間にあることを特徴とする放射検出器。
IPC (2件):
G01J 1/02 ,  H01L 37/00
FI (2件):
G01J1/02 C ,  H01L37/00
Fターム (7件):
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA33 ,  2G065BA34 ,  2G065BA36 ,  2G065BC27
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 米国特許5021663A
  • 米国特許5367167A
審査官引用 (5件)
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