ワイヤソー用切削油剤

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300583
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111728
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】ワイヤソー用切削油剤において、砥粒等の研磨材の沈降を抑制し、沈降した場合でも再分散を容易にし、しかもハードケーキの生成を防止すると共に砥粒を含有するスラリーが刃物となるワイヤー細線に均一にからみつくことにより、切断性の効率と精度を向上させ、切断後のウエハーの洗浄も容易にする。【解決手段】本発明に関わるワイヤソー用切削油剤は、低分子量ポリアルキレングリコール(a)、低分子量グリコール、その二量体又は三量体(b)、ポリエーテル化合物(c)の中から選ばれる一種又は二種以上よりなる基材と、グラフト共重合体(d)とを必須成分として含有するものである。特に効果的なグラフト共重合体としては、アリルアルコール、無水マレイン酸およびスチレンの共重合体にポリオキシアルキレンモノアルキルエーテルをグラフト重合したものが挙げられる。

請求項（抜粋）：

低分子量ポリアルキレングリコール(a)、低分子量グリコール、その二量体又は三量体(b)、およびポリエーテル化合物(c) の中から選ばれる一種又は二種以上よりなる基材と、グラフト共重合体(d)とを必須成分として含有するワイヤソー用切削油剤。

IPC (18件)：

C10M 169/04 , B24B 27/06 , B24B 37/00 , B28D 1/08 , B28D 5/04 , C10M 105/14 , C10M 105/18 , C10M 107/34 , C10M 125/10 , C10M 125/22 , C10M 129/32 , C10M 129/34 , C10M 129/36 , C10M 129/50 , C10M 133/08 , C10M 145/36 , C10M 173/02 , H01L 21/304

FI (18件)：

C10M169/04 , B24B27/06 D , B24B37/00 H , B28D1/08 , B28D5/04 C , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M125/10 , C10M125/22 , C10M129/32 , C10M129/34 , C10M129/36 , C10M129/50 , C10M133/08 , C10M145/36 , C10M173/02 , H01L21/304 611W

Fターム (32件)：

3C058AA05 , 3C058CA04 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA02 , 3C058DA03 , 3C069AA01 , 3C069BA06 , 3C069CA03 , 3C069CA04 , 3C069DA06 , 3C069EA01 , 3C069EA02 , 4H104AA01Z , 4H104AA13C , 4H104AA18C , 4H104BB04A , 4H104BB08A , 4H104BB16C , 4H104BB18C , 4H104BB19C , 4H104BB22C , 4H104BB41A , 4H104BE04C , 4H104CB14A , 4H104CB14C , 4H104CB16C , 4H104CB17C , 4H104FA01 , 4H104FA02 , 4H104PA22 , 4H104RA01

引用特許：

出願人引用 (6件)

ワイヤー切断加工機用水性加工液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-212720 出願人：株式会社日平トヤマ, パレス化学株式会社
ソーイング懸濁液及び結晶からウエハを切断する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223890 出願人：ワッカー・ジルトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・ハルブライターマテリアリエン・アクチェンゲゼルシャフト
特表2000-537440号公報

全件表示

前のページに戻る