特許
J-GLOBAL ID：200903049255107946
光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039151
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 伝搬損失の低い光素子搭載用Siベンチ付き石英系光導波路を提供する。【解決手段】 凸部を備えたSi基板10に、屈折率n0 の石英系ガラスからなるバッファ層13と、該バッファ層13の上に屈折率n0 の石英系ガラスからなる補助バッファ層14と、この上に形成される屈折率n1 の石英系導波路16と、該石英系導波路16を覆う屈折率n0 の石英系ガラスからなるクラッド層17とが設けられた光導波路において、上記Si基板の凸部の上面が露出する開口部18が設けられているものである。
請求項（抜粋）：
凸部を備えたSi基板に、屈折率n0 の石英系ガラスからなるバッファ層と、該バッファ層の上に屈折率n0 の石英系ガラスからなる補助バッファ層と、この上に形成される屈折率n1 の石英系導波路と、該石英系導波路を覆う屈折率n0 の石英系ガラスからなるクラッド層とが設けられた光導波路において、上記Si基板の凸部の上面が露出する開口部が設けられていることを特徴とする光導波路。
IPC (4件)：
G02B 6/122
, G02B 6/13
, G02B 6/42
, H01L 27/15
G02B 6/12 A
, G02B 6/42
, H01L 27/15 C
, G02B 6/12 M
