特許
J-GLOBAL ID：200903049290598839

基板洗浄装置および基板洗浄方法

発明者：
永徳 篤郎

永徳 篤郎 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268721
公開番号（公開出願番号）：特開2001-087725
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：
【要約】【課題】基板表面の微細なパーティクルを十分に除去し、基板表面の洗浄力を向上させることが可能な基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供する。【解決手段】ウエハの回転軸Rを中心として回転させられているウエハWの上面Waとこれに対向する基板対向面WFとの間に、基板対向面WF内に先端部NSを有するノズルNが洗浄液を供給するとともに、この洗浄液に対して、基板対向面WF内に設けられた振動面VFが超音波振動を付与する。
請求項（抜粋）：
基板に垂直な回転軸を中心として所定の回転方向に基板を回転させる基板回転手段と、この基板回転手段によって回転される基板表面に対向可能に設けられた基板対向面、この基板対向面内に先端部が配置されて基板と基板対向面との間に洗浄液を供給するノズル、および、基板対向面内に設けられてノズルから基板と基板対向面との間に供給された洗浄液に超音波振動を付与する振動面を有する超音波洗浄部材と、を備えることを特徴とする基板洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/12 ,  H01L 21/304 643
FI (2件)：
B08B 3/12 C ,  H01L 21/304 643 D
Fターム (11件)：
3B201AA03 ,  3B201AB24 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BA02 ,  3B201BA13 ,  3B201BB22 ,  3B201BB85 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CB01
引用特許：
審査官引用 (7件)
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