複屈折測定方法及び複屈折測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏木慎史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111614
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097805
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】光学的な歪みの影響の小さな被検レンズ透過像を得られ、被検レンズ全面に渡って正確に複屈折測定を行える上に、被検レンズの種類の変さらに、も容易に対応可能で汎用性を向上させ得る複屈折測定装置及び方法を提供する。【解決手段】所定の偏光状態で発散光を被検レンズ1に照射させる照射光学系2と、被検レンズ1に対する照射光学系2の光軸方向の位置を移動調整する照射側変位手段11と、被検レンズ1からの透過光の偏光状態を変化させる偏光素子15と、偏光素子15を透過光のほぼ進行方向回りに回転させる回転手段21と、偏光素子15の回転角度を検知する回転角検知手段25と、偏光素子15を透過した光を受光するアレイ状の受光素子12と、偏光素子15を透過した光を受光素子12上に結像させる結像光学系13と、検知された回転角度と受光素子13により受光検出される受光出力とに基づき被検レンズ1の複屈折を算出する演算手投23と、を備える。

請求項（抜粋）：

所定の偏光状態で発散光を被検レンズに照射させる照射光学系と、前記被検レンズに対する前記照射光学系の光軸方向の位置を移動調整する照射側変位手段と、前記被検レンズからの透過光の偏光状態を変化させる偏光素子と、この偏光素子を前記透過光のほぼ進行方向回りに回転させる回転手段と、この回転手段による前記偏光素子の回転角度を検知する回転角検知手段と、前記偏光素子を透過した光を受光するアレイ状の受光素子と、前記偏光素子を透過した光を前記受光素子上に結像させる結像光学系と、前記回転角検知手段により検知された回転角度と前記受光素子により受光検出される受光出力とに基づき前記被検レンズの複屈折を算出する演算手投と、を備える複屈折測定装置。

IPC (2件)：

G01M 11/02 , G01N 21/23

FI (2件)：

G01M 11/02 B , G01N 21/23

引用特許：

審査官引用 (6件)

光学部材検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-182558 出願人：旭光学工業株式会社
複屈折の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-223192 出願人：株式会社リコー
光学部材検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-229242 出願人：旭光学工業株式会社

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