特許
J-GLOBAL ID:200903049310947398

光硬化性ガラスペ-スト組成物及びそれを用いた焼成物パタ-ン形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): ▲吉▼田 繁喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-212987
公開番号(公開出願番号):特開2000-105453
出願日: 1999年07月28日
公開日(公表日): 2000年04月11日
要約:
【要約】【課題】 有機溶剤の使用を著しく低減し、又は全く使用せず、溝部への充填性や、焼成性に優れた光硬化型のガラスペースト組成物、及びこの組成物を用いることにより、高精細な焼成物パターンを低エネルギー消費、低コストで生産性良く形成できる方法を提供する。【解決手段】 光硬化性ガラスペースト組成物は、(A)ガラス微粒子、(B)液状光硬化性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)ガラス微粒子と親和性のある極性基を有する分散剤を含有する。この光硬化性ガラスペースト組成物を、基板1上の所定パターンの感光性フィルム10の溝部12に埋め込むように塗布した後、露光して硬化させ、次いで感光性フィルムを剥離剤により剥離した後、焼成する。
請求項(抜粋):
(A)ガラス微粒子、(B)液状光硬化性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)ガラス微粒子と親和性のある極性基を有する分散剤を含有することを特徴とする光硬化性ガラスペースト組成物。
IPC (6件):
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F299/00 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (6件):
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 A ,  C08F 2/46 ,  C08F299/00 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
引用特許:
審査官引用 (7件)
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