特許
J-GLOBAL ID：200903049315944770

光照射装置

発明者：
門脇 徹二

門脇 徹二 について

, 
大野 琢也

大野 琢也 について

, 
澤森 朗

澤森 朗 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-236699
公開番号（公開出願番号）：特開2009-169386
出願日： 2008年09月16日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】省電力化を図るとともに、部品点数を増加させることなく種々のパターンに塗布されたシール材に対して光を照射することができる光照射装置を提供すること。【解決手段】紫外線照射装置1は、基板Wが載置されるステージ13と、紫外線を照射可能であるとともに個別にオンオフ可能な複数のUVLEDが線状に配列され、外側及び内側シール材の幅と略同幅の線状の光を照射する照射部22a〜22dを備える。さらに、紫外線照射装置1は、照射部22a〜22dをX方向に移動させるX軸アクチュエータ19と、各UVLEDを外側及び内側シール材のパターンに応じてオンオフさせる制御部34とを備えた。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
貼り合せ基板間に介在された光硬化性樹脂からなる線状のシール材に対して光を照射する光照射装置であって、 前記貼り合せ基板が載置されるステージと、 前記光を照射可能であるとともに個別にオンオフ可能な複数の半導体素子が線状に配列され、前記シール材の幅に応じた線状の光を前記貼り合せ基板に向けて照射する照射部と、 前記貼り合せ基板が載置される平面と平行な面内にて、前記照射部を前記半導体素子が配列された方向と交差する方向に移動させる第1駆動部と、 前記各半導体素子を前記シール材のパターンに応じてオンオフさせる制御部と、 を備えたことを特徴とする光照射装置。
IPC (6件)：
G02F 1/13 ,  B29C 35/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G09F 9/00 ,  G02F 1/133
FI (6件)：
G02F1/13 101 ,  B29C35/08 ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 501 ,  G09F9/00 342Z ,  G02F1/1339 505
Fターム (41件)：
2H088FA04 ,  2H088FA30 ,  2H088HA21 ,  2H088HA24 ,  2H088HA28 ,  2H088MA16 ,  2H088MA20 ,  2H097AA03 ,  2H097CA03 ,  2H097CA12 ,  2H097FA02 ,  2H189EA04Y ,  2H189FA54 ,  2H189FA91 ,  2H189HA06 ,  2H189HA12 ,  2H189HA13 ,  2H189HA14 ,  2H189HA16 ,  2H189LA20 ,  4F203AA44 ,  4F203AH33 ,  4F203AK03 ,  4F203DA12 ,  4F203DB01 ,  4F203DC01 ,  4F203DC08 ,  4F203DD03 ,  4F203DJ29 ,  4F203DK07 ,  4F203DM13 ,  4F203DM23 ,  5F046BA07 ,  5F046CA06 ,  5F046CA10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB22 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435HH20 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 光照射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-246490   出願人：ウシオ電機株式会社
審査官引用 (5件)
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