特許
J-GLOBAL ID：200903049408189203
透過型回折格子、並びに、それを用いた分光素子及び分光器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-181159
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102488
出願日： 2007年07月10日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】容易に作製でき、特性の劣化を抑えることのできる透過型回折格子を提供する。【解決手段】基板10と、基板10上に互いに平行に一定の周期pで設けられた複数のリッジ20とを備えた透過型回折格子100である。リッジ20は、屈折率が不連続な第1層11、第2層12(屈折率n2 :2.0〜2.5)及び第3層13を含む。基板10に隣接する第1層11は、基板10との屈折率差が0.1以下である。第2層12は、第1層11及び第3層13よりも屈折率が高く、次の条件を満たす。第2層12の、1つのリッジ20当たりの、当該リッジ20の長さ方向に垂直な断面の断面積Sが、0.75p2 k1 θ2 /(n2 -1)<S<1.20p2 k1 θ2 /(n2 -1)の範囲にある。但し、θは回折格子面への入射角(単位はラジアン)、定数k1 は1.1である。第2層12の厚さd2 が、0.70pk2 θn2 /(n2 -1)<d2 <1.30pk2 θn2 /(n2 -1)の範囲にある。但し、定数k2 は0.69である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に互いに平行に一定の周期pで設けられた複数のリッジとを備えた透過型回折格子であって、
前記リッジは、前記基板側から順に配置された、屈折率が不連続な第1層、第2層及び第3層を含み、
前記基板に隣接する前記第1層は、前記基板との屈折率差が0.1以下であり、
前記第2層は、前記第1層及び前記第3層よりも屈折率が高く、かつ、以下の(A)〜(C)の条件を満たすことを特徴とする透過型回折格子。
(A)前記第2層の屈折率n2 は2.0〜2.5である。
(B)前記第2層の、1つのリッジ当たりの、当該リッジの長さ方向に垂直な断面の断面積Sは、
0.75p2 k1 θ2 /(n2 -1)<S<1.20p2 k1 θ2 /(n2 -1)
の範囲にある。但し、θは回折格子面への入射角で単位はラジアンであり、定数k1 は1.1である。
(C)前記第2層の厚さd2 は、
0.70pk2 θn2 /(n2 -1)<d2 <1.30pk2 θn2 /( n2 -1)
の範囲にある。但し、定数k2 は0.69である。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G020AA03
, 2G020BA20
, 2G020CB04
, 2G020CC03
, 2G020CC08
, 2G020CC63
, 2G020CD13
, 2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA37
, 2H049AA41
, 2H049AA42
, 2H049AA58
, 2H049AA64
