特許
J-GLOBAL ID：200903049462618071

ウエハ上に形成された有極型弾性表面波フィルタ及び有極型弾性表面波フィルタの製造方法

発明者：
野口 和繁

野口 和繁 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 大西 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-117988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308670
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：
【要約】【課題】 信頼性の高い、ウエハ上に形成された有極型表面弾性波フィルタ及び有極型表面弾性波フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】 本発明は、第1の直列腕表面弾性波共振器と第2の並列腕表面弾性波共振器とを金属線を用いて接続し、第1の直列腕表面弾性波共振器及び第2の並列腕表面弾性波共振器のそれぞれの反射器をダイシングライン上の導電パターンに接続させたウエハ上に形成された有極型表面弾性波フィルタ及び有極型表面弾性波フィルタの製造方法である。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成された有極型弾性表面波フィルタにおいて、第1及び第2の櫛歯状電極を有する第1の直列腕弾性表面波共振器と、第3及び第4の櫛歯状電極を有する第1の並列腕弾性表面波共振器と、第5及び第6の櫛歯状電極を有する第2の並列腕弾性表面波共振器と、前記第1の直列腕弾性表面波共振器と前記第1及び前記第2の並列腕弾性表面波共振器との周囲のダイシングライン上に形成された第1の導電パターンと、前記第1の櫛歯状電極と前記第3の櫛歯状電極とを接続する第1の配線パターンと、前記第2の櫛歯状電極と前記第6の櫛歯状電極とを接続する金属線と、前記第1の直列腕弾性表面波共振器における反射器と前記第1又は前記第2の並列腕弾性表面波共振器における反射器とに接続され、かつ前記第1の導電パターンに接続された第2の導電パターンとを有することを特徴とするウエハ上に形成された有極型弾性表面波フィルタ。
IPC (4件)：
H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/64
FI (4件)：
H03H 9/145 D ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 Z ,  H03H 9/64 Z
Fターム (8件)：
5J097AA27 ,  5J097AA32 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097CC02 ,  5J097DD25 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07
引用特許：
審査官引用 (7件)
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