特許
J-GLOBAL ID：200903049475174539
単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313594
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】容易、安全かつ輻射シールドを汚染することなく輻射シールドの交換が行える単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置を提供する。【解決手段】移動可能に設けられた装置基台3に立設された柱状の装置本体4と、この装置本体4に昇降自在に取付けられた昇降部材5と、この昇降部材5を装置本体4に沿い昇降させる駆動機構6と、昇降部材5に設けられたシールド受体7と、このシールド受体7に取付けられ輻射シールド8の外周面8sに当接する複数個の受け部材9とを有することを特徴とする単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置。
請求項（抜粋）：
移動可能に設けられた装置基台に立設された柱状の装置本体と、この装置本体に昇降自在に取付けられた昇降部材と、この昇降部材を装置本体に沿い昇降させる駆動機構と、前記昇降部材に設けられたシールド受体と、このシールド受体に取付けられ単結晶引上げ装置に使用される輻射シールドの外周面に当接する複数個の受け部材とを有することを特徴とする単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
3F333AA03
, 3F333AB07
, 3F333AE38
, 3F333BD10
, 3F333FG03
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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