特許
J-GLOBAL ID：200903049498554177
ウェーハ吸着ステージ及びウェーハの吸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-350180
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116842
出願日： 2003年10月09日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】周縁側部の少なくとも一部が一面側に反った状態のウェーハを、その一面側が表面側となるように吸着して矯正できると共に、吸着したウェーハの中央部近傍に力が加えられる加工や検査を可能にできるウェーハの吸着方法を提供する。【解決手段】吸着ステージ10として、ウェーハ20の周縁側部に当接して吸着するステージ外周部12と、ステージ外周部12の内周側に設けられ、ウェーハ20の内側部に当接して吸着するステージ内周部14とを分割し、ステージ内周部14を昇降可能に設けた吸着ステージ10を用い、吸着ステージ10に載置したウェーハ20の外周側部を、ステージ外周部12の当接面に当接して吸着できるように、ステージ内周部14を降下して段差を形成し、次いで、ステージ外周部12に外周側部を吸着したウェーハ20の内側部を、上昇するステージ内周部14の当接面によって押圧して矯正したウェーハ20の内側部を吸着する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
一面側に樹脂モールド等の加工が施され、周縁側部の少なくとも一部が前記一面側に反った状態のウェーハを、前記一面側が表面側となるように吸着するウェーハ吸着ステージであって、
該吸着ステージが、前記ウェーハの周縁側部の他面側に当接する当接面に吸着手段が設けられたステージ外周部と、前記ステージ外周部の内周側に設けられ、前記ウェーハの内側部の他面側に当接する当接面に吸着手段が設けられたステージ内周部とから構成され、
前記ウェーハの周縁側部の他面側をステージ外周部に吸着する際に、前記ステージ外周部の当接面とステージ内周部の当接面との間に段差を形成して、前記ウェーハの周縁側部の他面側にステージ外周部の当接面が当接でき、且つ前記ステージ外周部の当接面に周縁側部の他面側が当接して吸着されたウェーハの反りを矯正する際に、前記ウェーハの内側部の他面側をステージ内周部の当接面によって、前記反りを矯正する方向に押圧できるように、前記ステージ外周部とステージ内周部との少なくとも一方が、昇降可能に設けられていることを特徴とするウェーハ吸着ステージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031DA20
, 5F031HA05
, 5F031HA13
, 5F031HA14
, 5F031HA58
, 5F031JA10
, 5F031JA47
, 5F031MA33
, 5F031MA34
, 5F031PA13
, 5F031PA14
