特許
J-GLOBAL ID：200903049576444596

流量制御装置および流体混合器

発明者：
百瀬 修

百瀬 修 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (2件)： 長門 侃二 ,  山中 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-274078
公開番号（公開出願番号）：特開2007-087029
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】 混合比を一定に保ちながら各流体の流量を可変制御可能な流体混合器と、この流体混合器に用いるに好適な流体制御装置を提供する。【解決手段】 流量制御装置に、デジタル指令値(流量設定値)をアナログ電圧値またはアナログ電流値に変換して出力するアナログ出力回路、入力されたアナログ電圧またはアナログ電流値をデジタル指令値に変換して取り込むアナログ入力回路、通信インターフェースを介して与えられたデジタル指令値、またはアナログ入力回路を介してアナログ電圧またはアナログ電流値を変換して入力したデジタル指令値に応じて流量制御弁の弁開度を比例制御する制御弁駆動回路、およびデジタル指令値とアナログ入出力電圧値との対応関係を可変設定するアナログスケーリング手段を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流量センサにより計測される流体の流量が流量設定値となるように流量制御弁の開度を比例制御し該流量制御弁を介して通流する上記流体の流量を制御する制御ユニットを備えた流量制御装置であって 前記制御ユニットは、 通信インターフェースを介して与えられるデジタル流量設定値をアナログ値に変換して出力するアナログ出力回路と、 入力されたアナログ値をデジタル流量設定値に変換して取り込むアナログ入力回路と、 前記通信インターフェースを介して与えられたデジタル流量設定値、または前記アナログ入力回路を介してアナログ値を変換して入力されたデジタル流量設定値に応じて前記流量制御弁の弁開度を比例制御する弁開度制御値を出力する制御弁駆動回路と、 前記デジタル流量設定値とアナログ値との対応関係を予め設定するアナログスケーリング手段と を具備したことを特徴とする流量制御装置。
IPC (3件)：
G05D 7/06 ,  G05D 11/02 ,  B01F 15/04
FI (3件)：
G05D7/06 Z ,  G05D11/02 ,  B01F15/04 D
Fターム (35件)：
4G037BA02 ,  4G037BB06 ,  4G037BC05 ,  4G037BD04 ,  4G037BE02 ,  4G037EA01 ,  5H220AA01 ,  5H220CC07 ,  5H220CX05 ,  5H220JJ12 ,  5H220JJ16 ,  5H220KK03 ,  5H307AA01 ,  5H307BB01 ,  5H307CC08 ,  5H307DD01 ,  5H307EE02 ,  5H307ES02 ,  5H307FF06 ,  5H307GG03 ,  5H307GG11 ,  5H307HH04 ,  5H307HH12 ,  5H309AA01 ,  5H309BB01 ,  5H309CC01 ,  5H309DD08 ,  5H309DD38 ,  5H309EE03 ,  5H309FF03 ,  5H309GG03 ,  5H309HH01 ,  5H309HH02 ,  5H309JJ06 ,  5H309KK03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 熱式質量流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-156291   出願人：日本タイラン株式会社
  • 流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-015907   出願人：株式会社山武
審査官引用 (6件)
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