CZ法単結晶引上げ装置の安全機構

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：正林真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-054894
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240491
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】 CZ炉内を移動するクーラーを備えると共に、CZ炉内におけるクーラーその他の炉内部材の衝突を適確に検出して迅速に危険を回避するような安全機構を備えたCZ法単結晶引上げ装置を提供する。【解決手段】例えばクーラー19と他の部材との間でタッチセンサを形成することによってそれらの間の衝突を迅速かつ適確に検知し、当該迅速かつ適確な検知に基づいてクーラー19を危険箇所から迅速に退避させるようなCZ法単結晶引上げ装置とする。

請求項（抜粋）：

CZ法単結晶引上げ装置に備え付けられている引上げ単結晶冷却用のクーラーをCZ炉内で移動可能なように構成することによって、当該CZ法単結晶引上げ装置自体の保守性を高める方法。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/00

FI (2件)：

C30B 29/06 502 E , C30B 15/00 Z

Fターム (5件)：

4G077AA02 , 4G077CF10 , 4G077EG20 , 4G077EG28 , 4G077PA10

引用特許：

審査官引用 (10件)

半導体単結晶の製造装置および製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-342609 出願人：コマツ電子金属株式会社
単結晶製造装置および単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-275097 出願人：コマツ電子金属株式会社
単結晶製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-037082 出願人：ワッカー・ジルトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・ハルブライターマテリアリエン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

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