特許
J-GLOBAL ID：200903049839206083

検査装置および検査方法

発明者：
名村 高

名村 高 について

, 
渡邉 尚志

渡邉 尚志 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (6件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  原田 智雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279615
公開番号（公開出願番号）：特開2005-045144
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】光軸方向の位置精度が低くても高い解像度が得られる、固浸レンズを用いた検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】レーザ光源1から発せられた赤外レーザ光12は、回折レンズ4に入射してベッセルビーム13となり試料7の裏面の観察対象に照射され、その反射光14は光検出器11により検出されて、解析が行われる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料に向けて単色光を放射し、当該試料からの光を解析して当該試料の検査を行う検査装置であって、 前記単色光の光源と、前記試料に密着させた光学素子と、前記試料からの前記光を検出する光検出器とを備え、 前記光学素子は、前記単色光からベッセルビームを生成させて前記試料に照射する、検査装置。
IPC (2件)：
H01L21/66 ,  G01N21/956
FI (2件)：
H01L21/66 L ,  G01N21/956 A
Fターム (22件)：
2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA20 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA14 ,  4M106CA18 ,  4M106CA70 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH37 ,  4M106DH38 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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