特許
J-GLOBAL ID：200903050017642416

有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法

発明者：
粟津 尚登

粟津 尚登 について

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平田 順太

平田 順太 について

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今西 泰雄

今西 泰雄 について

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荒谷 介和

荒谷 介和 について


出願人/特許権者：
株式会社日立プラントテクノロジー

株式会社日立プラントテクノロジー について


代理人 (2件)： 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-091214
公開番号（公開出願番号）：特開2007-265880
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】開放した状態で扱う容器や装置への周囲環境からの水分などの浸入を防ぐ。【解決手段】有機ELパネルの製造設備60は、クリーンルーム32内に有機材料保管ストッカ34、金属電極材料保管ストッカ36、封止材料保管ストッカ38、基板保管ストッカ40、基板前処理室42、発光材料蒸着室44、金属電極蒸着室46、封止室48などを有する。製造設備60は、清浄空気を除湿してドライエアにする除湿機62を備えている。除湿機62の吐出したドライエアは、給気配管64を介してクリーンルーム32内の各ストッカ、各室に供給できるようにしてある。各ストッカを開放して原材料の搬入出、または各室を開放して装置に原材料の搬入し若しくは装置の保守行なう際に、給気配管64、分岐管66a〜66hを介して対応するストッカ、室に周囲環境より露点の低いドライエアを供給する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
有機ELパネルの製造に用いる各種原材料に対応して設けた複数の原材料保管部と、前記原材料を用いて行なう前記有機ELパネルの複数の製造工程に対応して設置した複数の装置とを、クリーンルーム内に備えた有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法であって、 前記原材料保管部を開放して前記原材料の搬入出、または前記装置の設置部を開放して前記装置に前記原材料の搬入、若しくは前記装置の保守を行なう際に、前記原材料の搬入出に対応した前記原材料保管部、または前記原材料の搬入若しくは前記保守を行なう前記装置の設置部に、周囲環境より露点の低いドライエアを供給することを特徴とする有機ELパネルの製造設備における湿度管理方法。
IPC (2件)：
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (2件)：
H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (7件)：
3K107AA01 ,  3K107CC23 ,  3K107CC45 ,  3K107FF17 ,  3K107GG28 ,  3K107GG31 ,  3K107GG41
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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