特許
J-GLOBAL ID:200903050086717444
画像プローブ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-133940
公開番号(公開出願番号):特開2005-242386
出願日: 2005年05月02日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】 小型、軽量、着脱が容易で、撮像方向の任意設定が可能な画像プローブを提供する。【解決手段】 ワークを撮像してその画像データを出力するCCDカメラ27と、このCCDカメラ27にワークの画像を結像させる撮像光学系24,25,26と、ワークを落射照明するための照明光を発生させる半導体発光素子からなる落射照明光源31と、この落射照明光源31からの照明光を撮像光学系に合流させて撮像光学系を介してワークに導く照明光学系29とを有する。これら光学部品は、シャーシ23に取り付けられる。この測定プローブ1は、三次元測定機の測定プローブとして任意角度で使用される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ワークを撮像してその画像データを出力する固体撮像素子と、
この固体撮像素子に前記ワークの画像を結像させる撮像光学系と、
前記ワークを落射照明するための照明光を発生させる半導体発光素子からなる落射照明光源と、
この落射照明光源からの照明光を前記撮像光学系に合流させて前記撮像光学系を介して前記ワークに導く照明光学系と、
これら固体撮像素子、撮像光学系、落射照明光源及び照明光学系を所定の位置関係を保ったまま支持すると共に、前記落射照明光源及び照明光学系と密着する、放熱効果がプラスチックよりも高いシャーシと、
これらを収容するカバーとを備え、
前記シャーシ及び/又は前記カバーは、マグネシウム合金で形成され、
全体の重量が500グラム以下であると共に、三次元測定機の三次元移動可能なプローブヘッドに測定プローブとしてマウント部又はシャンク部を介して着脱自在に取付可能な画像プローブ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC14
, 2H052AF02
, 2H052AF14
引用特許:
審査官引用 (8件)
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光学式プローブヘツド
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-073923
出願人:カール-ツアイス-スチフツング
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変位検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-314949
出願人:株式会社ミツトヨ
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位置検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-040831
出願人:松下電器産業株式会社
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光学ユニットおよび投写型表示装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-306169
出願人:セイコーエプソン株式会社
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外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-098792
出願人:松下電器産業株式会社
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透孔周辺部の外観検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-244150
出願人:東芝セラミックス株式会社
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特表平7-505958
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座標位置決定装置用検査システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-533229
出願人:レニショウパブリックリミテッドカンパニー
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