静電アクチュエータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353374
公開番号（公開出願番号）：特開2001-178153
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】静電アクチュエータにおいて、対向する側の部材にPETなどの高分子材料を用いていたが、誘電率、耐電圧、熱伝導性、耐摩耗性が低いため、静電アクチュエータの初期性能向上や耐久性向上が困難であった。【解決手段】絶縁体内に複数の帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の電極及び前記第2部材の電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第1部材および前記第2部材の互いに対向する側の絶縁体を、セラミックス誘電体で形成することとした。

請求項（抜粋）：

絶縁体内に複数の帯状電極を有する第1部材と、同じく絶縁体内に複数の帯状電極を有する第2部材と、前記第1部材の電極及び前記第2部材の電極に接続される多相交流電源とを設け、前記第1部材と前記第2部材間の静電気力で前記第1部材及び前記第2部材の一方もしくは両方を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記第1部材および前記第2部材の互いに対向する側の絶縁体を、セラミックス誘電体で形成したことを特徴とする静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

静電アクチュエータ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-205369 出願人：化成オプトニクス株式会社, 三菱化学株式会社
静電アクチユエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-159653 出願人：三菱化成株式会社
静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-250792 出願人：三菱化学株式会社

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