特許
J-GLOBAL ID:200903050198407421
ナノスケール磁気顕微鏡用のナノチューブカンチレバープローブ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
藤野 清也
, 藤野 清規
, 吉見 京子
, 石井 良夫
, 後藤 さなえ
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-546747
公開番号(公開出願番号):特表2006-501484
出願日: 2003年09月18日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
本発明は、単一陽子および単一電子スピンを検出することができる微小寸法プローブを備えるMFMまたはMRFM分析装置を提供する。本発明はさらに、およそ1ナノメートルの大きさの磁気構造を検出することができる微小寸法プローブを備えるMFMまたはMRFM装置を提供する。本発明は特に、MFMまたはMRFM装置用の微小寸法プローブを提供し、微小寸法プローブは、ナノスケールの強磁性体材料を含むCNTカンチレバーを備える。CNTカンチレバーは、顕微鏡プローブの構成要素として電極に取り付けられることができ、顕微鏡プローブは、ナノスケールMFMまたはMRFM微小寸法プローブ装置の構成要素として電気回路と結合される。プローブと電気回路とを備えるこの装置は、電気的読み出しに対応した既存の走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置に組み込むことができる。
請求項(抜粋):
a)基板材料に取り付けられた電極アレイと、
b)前記電極アレイに取り付けられた複数のミクロ微粒子強磁性材料を有するカンチレバー配置に構成されたナノチューブアレイと、
c)前記電極アレイとプローブ部とを結合する電気回路とを含む、微小寸法プローブ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N13/22 B
, G12B1/00 601E
引用特許: