特許
J-GLOBAL ID:200903066418206035

受発光プローブ及び受発光プローブ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三木 久巳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-081672
公開番号(公開出願番号):特開2002-243616
出願日: 2001年02月13日
公開日(公表日): 2002年08月28日
要約:
【要約】【課題】 試料表面のナノ領域をピンポイント的に点灯・消灯したり、試料からの放射光の受光を可能にし、有効活用できるナノ領域の光制御技術を実現する。【解決手段】 本発明に係る受発光プローブ19は、ホルダー8に基端部10bを固定して先端部10aが突設された導電性ナノチューブ探針10と、この導電性ナノチューブ探針10の周面に形成された受発光体15と、この受発光体15に固定された導電性ナノチューブリード線16と、この導電性ナノチューブリード線16と前記導電性ナノチューブ探針10の両端に電圧を印加する手段から構成され、通電により前記受発光体15を受発光させることを特徴としている。また、本発明に係る受発光プローブ装置26は、前記受発光プローブ19と、この受発光プローブ19を試料22に対し走査する走査機構SDと、前記受発光プローブ19の受発光体15を受発光させる制御回路Cからなり、試料表面22aの微小領域に発光・受光することを特徴とする。
請求項(抜粋):
ホルダーに基端部を固定して先端部が突設された導電性ナノチューブ探針と、この導電性ナノチューブ探針の周面に形成された受発光体と、この受発光体に固定された導電性ナノチューブリード線と、この導電性ナノチューブリード線と前記導電性ナノチューブ探針の両端に通電する手段から構成され、前記受発光体により受光・発光させることを特徴とする受発光プローブ。
IPC (3件):
G01N 13/10 ,  G12B 21/08 ,  H01L 31/12
FI (3件):
G01N 13/10 A ,  H01L 31/12 A ,  G12B 1/00 601 D
Fターム (6件):
5F089AA10 ,  5F089AB08 ,  5F089AB15 ,  5F089AC02 ,  5F089BB02 ,  5F089CA21
引用特許:
審査官引用 (15件)
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