特許
J-GLOBAL ID：200903050213556366

4H型炭化珪素単結晶育成用種結晶と4H型炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法

発明者：
大谷 昇

大谷 昇 について

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勝野 正和

勝野 正和 について

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藤本 辰雄

藤本 辰雄 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-152966
公開番号（公開出願番号）：特開2003-342099
出願日： 2002年05月27日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 低欠陥大口径の4H型炭化珪素単結晶ウエハを取り出せる4H型炭化珪素単結晶育成用種結晶を提供する。【解決手段】 (11-20)面から[000-1]C軸を中心に[-1100]軸方向に-45度以上45度以下の範囲にある任意の一方向に、3°以上、60°以下傾いた面を単結晶育成面とする4H型炭化珪素単結晶育成用種結晶である。このような単結晶育成用種結晶を用いることにより高品質で大口径の4H型炭化珪素単結晶インゴットを得ることができる。
請求項（抜粋）：
炭化珪素単結晶からなる4H型炭化珪素単結晶育成用種結晶であって、該単結晶の(11-20)面から、[000-1]C軸を中心に[-1100]軸方向に-45°以上45°以下の範囲にある任意の一方向に、3°以上60°以下傾いた面を単結晶育成面とする4H型炭化珪素単結晶育成用種結晶。
Fターム (11件)：
4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077DA19 ,  4G077DB07 ,  4G077ED02 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077SA04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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