特許
J-GLOBAL ID：200903050285826341

排気装置

発明者：
池田 毅

池田 毅 について

, 
小泉 一夫

小泉 一夫 について

, 
武田 浩之

武田 浩之 について


出願人/特許権者：
三菱電線工業株式会社

三菱電線工業株式会社 について

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大阪ラセン管工業株式会社

大阪ラセン管工業株式会社 について

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スパンション エルエルシー

スパンション エルエルシー について

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Spansion Japan株式会社

Spansion Japan株式会社 について


代理人 (11件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-110264
公開番号（公開出願番号）：特開2007-318100
出願日： 2007年04月19日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】排気経路上に介設された管体1の側周壁5に少なくとも1つのポート3が設けられてなる排気圧力調整装置30を具備する排気装置において、ポートが、排気ガスに含まれる残留成膜成分やそれにより生成される固形物によりポート3が目詰まりするのを防止し、排気圧力調整装置30のメンテナンスのサイクルを長期化できるようにする。【解決手段】管体1内に上流から流れてくる排気ガスをポート3およびその近傍に直接接触せずに下流へ通り過ぎるように誘導するガス誘導壁2を配設し、ガス誘導壁2の一面21と管体1の側周壁5の内面6との間に圧力調整用流路7を形成する一方、ガス誘導壁2の他面22側を上記排気ガスが通り過ぎる排気ガス流路4に対面させ、ポート3を圧力調整用流路7に開口連通するように配設すると共に該ポート3より下流にて圧力調整用流路7を排気ガス流路4に連通させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
排気経路上に介設された管体と、該管体の側周壁に設けられた少なくとも1つのポートとを備えた排気圧力調整装置を具備する排気装置であって、 上記管体内に上流から流れてくる排気ガスを上記ポートおよびその近傍に直接接触せずに下流へ通り過ぎるように誘導するガス誘導壁を配設して、上記ガス誘導壁の一面と上記側周壁の内面との間に圧力調整用流路を形成し、上記ガス誘導壁の他面側を上記排気ガスが通り過ぎる排気ガス流路に対面させ、上記ポートを上記圧力調整用流路に開口連通するように配設し、上記ポートより下流において上記圧力調整用流路を上記排気ガス流路に連通したことを特徴とする排気装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/306 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/22
FI (5件)：
H01L21/205 ,  H01L21/31 B ,  H01L21/302 101E ,  C23C16/44 E ,  H01L21/22 501S
Fターム (20件)：
4K030AA03 ,  4K030BA40 ,  4K030CA04 ,  4K030EA12 ,  4K030FA10 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BC02 ,  5F045AA06 ,  5F045AB03 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045BB08 ,  5F045BB20 ,  5F045DP19 ,  5F045EE14 ,  5F045EG01 ,  5F045EG02 ,  5F045EG08
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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