一酸化炭素ガスセンサ

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：蔦田璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-085081
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279518
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】省電力化とCOに対する定量性の向上とを同時に達成し得るCOセンサを提供すること。【解決手段】検知用電圧印加モードにおける膜状酸化物の抵抗値によって一酸化炭素ガスを検知するセンサであって、パージ用印加モードが第1パージモードと第2パージモードからなり、第1パージモードON時間は50〜200msecの範囲であり、第2パージモードON時間は100msecより大きくかつ第1パージモードON時間よりも長く設定され、第1パージモードから第2パージモードへの切り替えのための電気抵抗値を予め設定値として認識させておき、検知用電圧印加モード中に測定した電気抵抗値が設定値を超えるとき第2パージモードに進むように構成し、第2パージモードにて再度電気抵抗値を測定して設定値を超えているか否かの判断を下すように構成したガスセンサ。

請求項（抜粋）：

薄膜状の支持膜の外側円周部または左右両端部が電気絶縁性の基板により支持されてなる支持基板上に、ガスの有無によって抵抗値が変化する膜状酸化物と、前記膜状酸化物の電気抵抗値を計測する少なくとも1対の電極と、前記膜状酸化物を加熱するためのヒーターを設け、前記ヒーターへの電圧印加は、一酸化炭素ガスを検知するための検知用電圧印加モードと、センサ素子表面のクリーニングを目的としたパージ用電圧印加モードと、電圧を印加しない非印加モードとを、所定の周期で繰り返すことにより行われ、前記の検知用電圧印加モードにおける膜状酸化物の抵抗値によって一酸化炭素ガスを検知するセンサにおいて、前記パージ用印加モードは、第1パージモードと第2パージモードからなり、かつこれら2つのモードを交互に切り替える電圧印加が行われてなり、第1パージモードON時間は、予め設定した所定の時間よりも短く設定され、第2パージモードON時間は、前記第1パージON時間よりも長く設定され、前記第1パージモードから第2パージモードへの切り替えのための電気抵抗値を予め設定値として認識させておき、前記検知用電圧印加モードと、パージ用の電圧印加モードと、非印加モードからなる群より選ばれた少なくとも1つのモード中に測定した前記膜状酸化物の電気抵抗値が前記設定値を超えるとき、第2パージモードに進むように構成し、当該第2パージモードにて再度前記電気抵抗値を測定して前記設定値を超えているか否かの判断を下し、超えている場合には警報を発するように構成したことを特徴とする一酸化炭素ガスセンサ。

Fターム (16件)：

2G046AA11 , 2G046BA01 , 2G046BA04 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BB08 , 2G046BE03 , 2G046DB02 , 2G046DB04 , 2G046DB05 , 2G046DC07 , 2G046DC14 , 2G046FB02 , 2G046FE38 , 2G046FE39

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-221649
半導体式ガスセンサ及び一酸化炭素ガスの検知方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-160360 出願人：新コスモス電機株式会社
半導体ガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-321177 出願人：株式会社リコー

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