特許
J-GLOBAL ID:200903050597584710
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタおよび圧電体素子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-266060
公開番号(公開出願番号):特開2000-094681
出願日: 1998年09月21日
公開日(公表日): 2000年04月04日
要約:
【要約】【課題】 圧電特性を劣化させずに設置面との密着性を向上させることのできる圧電体素子を提供する。【解決手段】 上部電極(45)と下部電極(42)に挟まれた圧電体層(44)を備える圧電体素子(40)である。特に、下部電極(42)と密着層(41)に拡散防止性金属(鉛など)を含有させておく点に特徴がある。拡散防止性金属である鉛が密着層の構成金属であるチタンの拡散を阻止する。
請求項(抜粋):
上部電極と下部電極に挟まれた圧電体層を備える圧電体素子において、前記下部電極と当該圧電体素子の設置面との間に密着性金属で形成される密着層を備え、前記下部電極および前記密着層は、拡散防止性金属を含んで構成されていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (5件):
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/22
FI (4件):
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
Fターム (14件):
2C057AF52
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP54
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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