電子部品試験装置および電子部品の試験方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042567
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241496
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】テスト時における電子部品の自己発熱を考慮して正確な温度で試験を行うことができる電子部品試験装置を提供する。【解決手段】ICの端子をテストヘッド5のコンタクト部51へ押し付けてテストを行う電子部品試験装置1であり、ICに設けられた温度感応素子2Dからの信号に基づいて、当該ICの実際の温度を演算する温度演算手段501を有する。

請求項（抜粋）：

被試験電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行う電子部品試験装置において、前記被試験電子部品に設けられた温度感応素子からの信号に基づいて、当該被試験電子部品の実際の温度を演算する温度演算手段を有することを特徴とする電子部品試験装置。

FI (2件)：

G01R 31/26 H , G01R 31/26 Z

Fターム (7件)：

2G003AB16 , 2G003AC03 , 2G003AD01 , 2G003AF05 , 2G003AG01 , 2G003AG11 , 2G003AH05

引用特許：

出願人引用 (6件)

バーンイン方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192312 出願人：住友電気工業株式会社
検査方法及び検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-041234 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
高低温ハンドラ用恒温槽内の温度制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114097 出願人：安藤電気株式会社

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審査官引用 (5件)

バーンイン方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192312 出願人：住友電気工業株式会社
検査方法及び検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-041234 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
熱処理装置の温度制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-249920 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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