特許
J-GLOBAL ID:200903050688600165

窒化物半導体レーザ素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-352540
公開番号(公開出願番号):特開平11-186659
出願日: 1997年12月22日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【目的】 単一のNFP、FFPを有し、低閾値でシングルモードのレーザ光を長時間発振させる。【構成】 p側クラッド層は少なくともAlを含む窒化物半導体層を有する超格子よりなり、そのp側クラッド層の一部、若しくは全部に前記リッジストライプが形成されており、さらにそのリッジのストライプ幅の少なくとも一方が共振面に接近するに従って狭くなるように形成されていることにより水平横モードをシングルにすると共に、超格子よりなるn側クラッド層全体の厚さを0.5μm以上として、n側クラッド層に含まれるAl平均組成を百分率(%)で表した際に、n側クラッド層全体の厚さ(μm)とAl平均組成(%)との積が4.4以上となるように構成することにより垂直横モードをシングルにする。
請求項(抜粋):
基板上にn側クラッド層と、活性層と、p側のクラッド層とを順に有し、活性層よりも上の層に、対向する共振面に対してほぼ垂直なリッジストライプを有する窒化物半導体レーザ素子において、前記p側クラッド層は少なくともAlを含む窒化物半導体層を有する超格子よりなり、そのp側クラッド層の一部、若しくは全部に前記リッジストライプが形成されており、さらにそのリッジのストライプ幅の少なくとも一方が共振面に接近するに従って狭くなるように形成されていることを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。
IPC (2件):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00
FI (2件):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00 C
引用特許:
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る