特許
J-GLOBAL ID：200903050748554010

真空排気システム

発明者：
田中 敬二

田中 敬二 について

, 
杉浦 哲郎

杉浦 哲郎 について

, 
香川 浩一

香川 浩一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-167508
公開番号（公開出願番号）：特開2006-342688
出願日： 2005年06月07日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】 プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。【解決手段】 真空排気システム10は、真空ポンプ20,30と、真空排気システム10中の真空領域に設置された圧力センサ50とを備えている。真空ポンプ20,30は、気体を移送する一対のロータと、一対のロータを回転させるモータと、一対のロータを同期させるタイミングギヤと、モータの回転速度を制御するドライバ26,36とを備えている。真空排気システム10は、圧力センサ50により検出された圧力に基づいて、真空ポンプ20,30のドライバ26,36を介してロータの回転速度を制御する制御部60をさらに備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
気体を移送する一対のロータと、前記一対のロータを回転させるモータと、前記一対のロータを同期させるタイミングギヤと、前記モータの回転速度を制御するドライバとを備えた少なくとも1つの真空ポンプと、 前記真空排気システム中の真空領域に設置された圧力センサと、 前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて、前記少なくとも1つの真空ポンプのドライバを介して前記ロータの回転速度を制御する制御部と、 を備えたことを特徴とする真空排気システム。
IPC (2件)：
F04C 28/08 ,  F04C 28/00
FI (2件)：
F04C28/08 A ,  F04C28/00 Z
Fターム (6件)：
3H029AB06 ,  3H029BB12 ,  3H029BB52 ,  3H029CC48 ,  3H029CC53 ,  3H029CC62
引用特許：
審査官引用 (4件)
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