圧電振動子、発振器、電波時計、電子機器、圧電振動子用ウエハ体及び圧電振動子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-318551
公開番号（公開出願番号）：特開2007-129325
出願日： 2005年11月01日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】ブレードの寿命を延ばすことができ、ブレードのメンテナンスを容易にすることができる圧電振動子、発振器、電波時計、電子機器、圧電振動子用ウエハ体及び圧電振動子の製造方法を提供する。【解決手段】複数のウエハが重ね合わされて接合された圧電振動子用ウエハ体が、ダイシングによって切断されることによりなる圧電振動子1であって、板状の蓋部材6とベース部材7とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器3と、前記蓋部材6と前記ベース部材7との間に配され、圧電振動子片が枠状部によって囲まれて形成された圧電振動子板2と、を備え、前記密閉容器3の側面に、前記密閉容器3の内方に向けられた逃げ部19が形成されており、前記逃げ部19は、前記切断の前に前記複数のウエハのそれぞれにあらかじめ形成された切断面積を減少させるための切断用貫通孔の周面により形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のウエハが重ね合わされて接合された圧電振動子用ウエハ体が、ダイシングによって切断されることによりなる圧電振動子であって、板状の蓋部材とベース部材とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器と、前記蓋部材と前記ベース部材との間に配され、圧電振動子片が枠状部によって囲まれて形成された圧電振動子板と、を備え、前記密閉容器の側面に、前記密閉容器の内方に向けられた逃げ部が形成されており、前記逃げ部は、前記切断の前に前記複数のウエハのそれぞれにあらかじめ形成された切断面積を減少させるための切断用貫通孔の周面により形成されていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (6件)：

H03H 3/02 , H03H 9/19 , H03B 5/32 , H01L 41/22 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (7件)：

H03H3/02 C , H03H9/19 J , H03B5/32 H , H01L41/22 Z , H01L41/08 U , H01L41/08 C , H01L41/18 101A

Fターム (20件)：

5J079AA04 , 5J079FA01 , 5J079FA14 , 5J079KA01 , 5J079KA02 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108CC11 , 5J108DD05 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108GG03 , 5J108KK01 , 5J108KK03 , 5J108KK04 , 5J108MM01 , 5J108MM04 , 5J108MM08 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧電振動子の電極構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-023089 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開昭54-112192

審査官引用 (9件)

圧電振動子の電極構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-023089 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開昭54-112192
特開昭54-112192

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