特許
J-GLOBAL ID：200903051027433480

複合材料及びその製造方法

発明者：
小林 義政

小林 義政 について

, 
勝田 祐司

勝田 祐司 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄 ,  鈴木 壯兵衞 ,  高久 浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-080693
公開番号（公開出願番号）：特開2008-239385
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】強靱化し、半導体製造装置用部材に適用した場合の歩留まり,ハンドリング性,及び信頼性を向上させる。【解決手段】Y2O3に対し5〜60mol%の範囲内のZrO2を含有させると共に、焼成工程後に1200〜1500°Cの温度に5分以上保持又は1200°C迄の降温速度を200°C/h以下に調整することにより、Y2O3にZrO2が固溶したY2O3固溶体と、ZrO2にY2O3が固溶したZrO2固溶体とを主結晶相として含む複合材料を製造する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
半導体製造装置用部材に使用される複合材料であって、酸化イットリウム(Y2O3)に酸化ジルコニウム(ZrO2)が固溶した酸化イットリウム固溶体と、酸化ジルコニウムに酸化イットリウムが固溶した酸化ジルコニウム固溶体とを主結晶相として含むことを特徴とする複合材料。
IPC (3件)：
C04B 35/50 ,  C04B 35/48 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
C04B35/50 ,  C04B35/48 C ,  H01L21/302 101G
Fターム (18件)：
4G031AA08 ,  4G031AA12 ,  4G031BA20 ,  4G031BA26 ,  4G031CA04 ,  4G031GA02 ,  4G031GA03 ,  4G031GA11 ,  4G031GA13 ,  4G031GA16 ,  5F004AA13 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB29 ,  5F004DA17 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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