特許
J-GLOBAL ID：200903051069329810
表面波励起プラズマの生成方法およびプラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293982
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118698
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】表面波励起プラズマの大面積化を容易に実現する。【解決手段】本発明のプラズマ発生装置は、チャンバー1内には通気用貫通孔4Bが形成された石英板(誘電体プレート)4が表面4aを内壁面から少し離すようにして配設されている一方、石英板4の側周面4Aに沿って開口型アンテナ6が配設されていて、開口型アンテナ6から石英板4を介してマイクロ波電力がチャンバー1内に供給されると表面波励起プラズマが生じる。そして、石英板4のプラズマ非形成側表面4aとプラズマ形成側表面4bは通気用貫通孔4Bにより同じ圧力となるので、石英板4の厚み方向には、自重による力がかかる程度で従来のような気圧差による強い力は加わらない。その結果、石英板4は面積が大きくても薄くて安価なもので事足り、プラズマの大面積化が容易である。
請求項（抜粋）：
チャンバー内にガスを導入しながらチャンバー内を減圧雰囲気に保持するとともに、誘電体プレートを介してマイクロ波電力を供給して表面波励起プラズマを生成する方法において、誘電体プレートをチャンバー内に配設するとともに、マイクロ波電力を誘電体プレートの側周面側から供給することを特徴とする表面波励起プラズマの生成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 1/46 B
, H01L 21/302 B
5F004AA16
, 5F004BA20
, 5F004BB14
, 5F004BB32
, 5F004BC08
