特許
J-GLOBAL ID：200903051105617037
圧力センサ
出願人/特許権者：
株式会社不二工機
株式会社不二工機 について
代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375327
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172665
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 製造工数を削減したシールドゲージ圧力式の圧力センサまたは絶対圧力式圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力導入孔12を有するハウジング10’と、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子22と、前記圧力検出素子22を固着するホルダ30と、ガイド部材98と、シール部材99と、コネクタケース70とを有し、前記圧力検出素子22と前記ホルダ30とを気密に接合して参照用圧力空間72を形成した圧力センサ本体とした圧力センサ1’において、圧力センサ本体の前記ホルダ30上に電極パッドを有する回路基板40を設け、コネクタケース70に設けたコネクタ80と電極パッドとを弾力性を有する電気導電性を有するばね状体50によって接続するとともに、ホルダ30をガイド部材98が保持し、ガイド部材98の開口100内にシール部材99を配置した。
請求項（抜粋）：
圧力導入孔を有するハウジングと、ピエゾ抵抗効果を有する半導体素子よりなる圧力検出素子と、前記圧力検出素子を固着するホルダと、コネクタケースとを有し、前記圧力検出素子と前記ホルダとを気密に接合して参照用圧力空間を形成した圧力センサ本体とした圧力センサにおいて、前記圧力センサ本体の前記ホルダ上に電極パッドを有する回路基板を設け、前記コネクタケースに設けたコネクタと前記電極パッドとを弾力性を有する電気導電性を有するばね状体によって接続したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
引用特許：
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