特許
J-GLOBAL ID:200903051163062878

特性評価試験装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司 ,  藤井 稔也 ,  野口 信博 ,  山口 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-060671
公開番号(公開出願番号):特開2005-249590
出願日: 2004年03月04日
公開日(公表日): 2005年09月15日
要約:
【課題】 汎用性を高めつつ、水平面上において安定させた状態での設置が困難なミクロンサイズの微小部材につき機械的特性を高精度に評価する。【解決手段】 ワークセット治具22により支持されたミクロンオーダ供試体31に接触可能なロッド27と、このロッド27が一端に取り付けられたアクチュエータ25とを有し、そのアクチュエータ25の伸縮によりロッド27を介して供試体31に水平方向の荷重を負荷し、また供試体31に負荷された実荷重やその水平方向の変位量を検出する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ミクロンサイズの供試体の機械的特性を評価する特性評価試験装置において、 上記供試体を支持する支持手段と、 上記支持手段により支持された上記供試体に接触可能な接触子と、この接触子が一端に取り付けられた圧電アクチュエータとを有し、上記圧電アクチュエータの伸縮により上記接触子を介して上記供試体に水平方向の荷重を負荷する負荷手段と、 上記負荷手段により上記供試体に負荷された実荷重、及び/又は上記供試体における上記水平方向への変位量を検出する検出手段とを備えること を特徴とする特性評価試験装置。
IPC (1件):
G01N3/20
FI (1件):
G01N3/20
Fターム (10件):
2G061AA01 ,  2G061AA07 ,  2G061AB01 ,  2G061AB05 ,  2G061CB02 ,  2G061DA01 ,  2G061EA01 ,  2G061EA02 ,  2G061EB05 ,  2G061EB07
引用特許:
審査官引用 (5件)
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