圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-330347
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139453
出願日： 2005年11月15日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】一面が被測定圧力を受ける受圧面となっている受圧用ダイアフラムを有する圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラムの強度を確保しつつ、その耐食性を向上させる。【解決手段】ケース1の一端部に、受圧面11を有する受圧用ダイアフラム10を設けてなる圧力センサにおいて、受圧用ダイアフラム10は、本体をなす本体部12とこの本体部12における受圧面11側の表面を被覆する被覆層13とからなり、本体部12は被覆層13よりも機械的強度が大きいステンレスなどからなり、被覆層13は本体部12よりも耐食性に優れたチタンまたはチタン化合物などからなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ケース(1)の一端部に、一面が被測定圧力を受ける受圧面(11)となっており、この受圧面(11)に前記被測定圧力を受けて歪む受圧用ダイアフラム(10)を設けてなる圧力センサにおいて、前記受圧用ダイアフラム(10)は、前記被測定圧力を受けて歪む本体部(12)とこの本体部(12)における前記受圧面(11)側の表面を被覆する被覆層(13)とからなるものであり、前記本体部(12)は前記被覆層(13)よりも機械的強度が大きく、前記被覆層(13)は前記本体部(12)よりも耐食性に優れたものであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/06 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L19/06 A , H01L29/84 B , G01L19/06 Z

Fターム (16件)：

2F055AA23 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055EE14 , 2F055FF21 , 2F055FF38 , 2F055GG11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA08 , 4M112CA13 , 4M112EA11 , 4M112FA08 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

応力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042473 出願人：日本電装株式会社

審査官引用 (5件)

圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-058514 出願人：株式会社デンソー
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-142874 出願人：株式会社豊田中央研究所
高温計測用半導体式圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-051884 出願人：ミネベア株式会社

全件表示

前のページに戻る