特許
J-GLOBAL ID：200903051238537907
電子写真感光体及びその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-236421
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083091
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 感光体の加温手段なしに画像ボケや画像流れのない高品質の画像が得られ、高耐久性を有し、電位特性の変動が少なく、高品位な画像が安定的に得られるゴースト現象の起こらない電子写真感光体とその製造方法の提供。【解決手段】 減圧可能な反応容器内で高周波電力を印加するカソード電極と該電極に対向する導電性基体との間にプラズマを発生させ、被処理基体上にシリコン原子を母体とする光導電層を堆積し、該光導電層上に水素を含む非単結晶炭素から成る表面層を設け、該表面層の表面をエッチングして表面をフッ素化し、エッチングによる表面粗さRzを1000オングストローム未満に抑え且つ該表面層に含有されるフッ素を表面から50オングストローム以内に存在させ、その領域における炭素に対するフッ素の濃度を20%以上にする。
請求項（抜粋）：
電子写真用感光体において、導電性基体上にシリコン原子を母体とする非単結晶材料で構成された光導電層を有し、少なくとも水素を含む非単結晶炭素から成る表面層が形成され、且つその表面層はフッ素を含有した表面を持つものであって、基準長さを5μmとした場合の表面粗さRzが1000オングストローム未満であり、且つ該表面層に含有されるフッ素が実質的に表面から50オングストローム以内に存在し、その領域における炭素に対するフッ素の濃度が20%以上であることを特徴とする電子写真感光体。
IPC (3件)：
G03G 5/08 302
, G03G 5/08 303
, G03G 5/08 306
G03G 5/08 302
, G03G 5/08 303
, G03G 5/08 306
