特許

J-GLOBAL ID：200903051321674657

透過型電子顕微鏡及びその制御方法

発明者： 柴田 直哉 ,  沢田 英敬
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  日本電子株式会社
代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-065806
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242514
出願日： 2006年03月10日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】 試料傾斜機構や人間では制御できない傾斜を電気的に行い、精密な傾斜合わせを実現する透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 高電圧電源に接続した電子銃1から発生し加速された電子線Eは、コンデンサレンズからなる収束レンズ3で収束されてから、偏向部4の2段の偏向コイルにより傾斜されて試料室5内の試料載置台上の試料5に照射される。対物レンズ6には、試料載置台に載置支持された試料5aを透過した電子線が入射する。収差補正器7は、対物レンズ6で発生した収差を補正する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透過型電子顕微鏡において、 電子銃により発生された電子線を偏向し試料上で当該電子線を傾斜させる ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/26

FI (3件)：

H01J37/147 A ,  H01J37/153 A ,  H01J37/26

Fターム (5件)：

5C033EE08 ,  5C033HH05 ,  5C033HH08 ,  5C033SS01 ,  5C033SS04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091250   出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (4件)

• 透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091250   出願人：日本電子株式会社
• 透過電子顕微鏡の高精度な軸調整方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-020121   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタおよび画像生成型エネルギフィルタの使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-549103   出願人：オミクロンナノ・テヒノロギー・ゲーエムベーハー, フォーカス・ゲーエムベーハー・ゲレーテ・ツーア・エレクトロネンシュペクトロスコピー・ウント・オベルフレヒェンアナリティク
• 粒子-光学装置における球面収差補正用の補正デバイス
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-530409   出願人：フィリップスエレクトロンオプティクスビーヴィ