特許
J-GLOBAL ID：200903051323051371

多連エアアクチュエータ及び多連エアアクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置

発明者：
小野関 善宏

小野関 善宏 について

, 
水野 亨

水野 亨 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (9件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  松井 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056381
公開番号（公開出願番号）：特開2007-232134
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】押圧スライダの応答性、リニアリティを向上させ動作精度を高めた多連エアアクチュエータ及び研磨精度を高めた多連アクチュエータを有する磁気ヘッド研磨装置を提供する。【解決手段】矩形状の天板及び前記天板の周縁から下向きに延びる周壁を有する筐体と、天板及び周壁により画成される内部空間を、並列に配置される複数の矩形状シリンダ室に仕切る仕切り板と、複数のシリンダ室内の各々に収容され、前記シリンダ室内を移動可能な複数の矩形状の押圧スライダと、複数のシリンダ室の内面若しくは前記押圧部材の外面に配置されるエア噴出部材を備え、供給される気体を前記エア噴出部材から噴出することにより押圧スライダをシリンダ室内で非接触に支持する多連エアアクチュエータ及びそれを備える磁気ヘッド研磨装置。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
矩形状の天板及び前記天板の周縁から下向きに延びる周壁を有する筐体と、 前記天板及び前記周壁により画成される内部空間を、並列に配置される複数の矩形状シリンダ室に仕切る仕切り板と、 前記複数のシリンダ室内の各々に収容され、前記シリンダ室内を移動可能な複数の矩形状の押圧スライダと、 前記複数のシリンダ室の内面若しくは前記押圧部材の外面に配置されるエア噴出部材と、を備え、 前記天板若しくは周壁は、前記エア噴出部材に連通するエアベアリング形成ポートを有し、前記エアベアリング形成ポートを介して供給される気体を前記エア噴出部材から噴出することにより前記押圧スライダを前記シリンダ室内で非接触に支持する多連エアアクチュエータ。
IPC (4件)：
F15B 15/00 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  F15B 15/14
FI (5件)：
F15B15/00 A ,  B24B37/00 B ,  B24B37/04 E ,  F15B15/14 340Z ,  F15B15/14 345A
Fターム (22件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB09 ,  3C058BA05 ,  3C058BC01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA16 ,  3H081AA01 ,  3H081AA02 ,  3H081AA03 ,  3H081BB03 ,  3H081BB14 ,  3H081CC11 ,  3H081CC23 ,  3H081CC26 ,  3H081DD02 ,  3H081DD22 ,  3H081DD26 ,  3H081DD27 ,  3H081EE21 ,  3H081EE28 ,  3H081HH10
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM