特許
J-GLOBAL ID:200903051432526290

シート貼付装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-147808
公開番号(公開出願番号):特開2008-300760
出願日: 2007年06月04日
公開日(公表日): 2008年12月11日
要約:
【課題】支持手段に支持される接着シートのロール径を大径化させることのないシート貼付装置を提供すること。【解決手段】基材シートBSの片面に接着剤層Aが設けられた帯状の原反Rを支持するシート支持手段11と、剥離シートRLを繰出可能に支持する剥離シート支持手段12と、原反Rと剥離シートRLとを積層する積層手段13と、原反Rに閉ループ状の切り込みCを形成する切り込み形成手段14と、切り込みCの内側を接着シートSとしてリングフレームRF及び半導体ウエハWに貼付する貼付手段15とによりシート貼付装置10が構成されている。剥離シートRLは、エンドレスシートを用いることもでき、この場合には、剥離シートRLを使い回しでき、剥離シート支持手段12及び剥離シート巻取手段17を設けることを要しない。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材シートの片面に接着剤層が設けられた帯状の原反を繰出可能に支持するシート支持手段と、繰り出された原反に閉ループ状の切り込みを形成する切り込み形成手段と、前記切り込みで囲まれる内側を接着シートとして所定の被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、 前記切り込み形成手段の前段に配置された積層手段を含み、当該積層手段で前記接着剤層に帯状の剥離シートを積層して原反と共に繰出可能に設けたことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件):
H01L 21/683
FI (1件):
H01L21/68 N
Fターム (5件):
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA22 ,  5F031MA34
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (9件)
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