特許
J-GLOBAL ID：200903051484272025
密閉容器の蓋開閉システムに用いられるパージ用パイプユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
岡部 正夫
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 木宮 直樹
, 齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-045917
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135791
出願日： 2008年02月27日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。【解決手段】FIMS内部における開口部10の上部にカーテンノズルを配置して、該開口面を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成する。同時にカーテンノズルについて開口部10が存在する側と逆の側に当該側に存在する空間とカーテンノズルの周囲空間とを略分離するカバーを配置し、不活性ガスにより形成されるガスカーテンに対する周囲空間からの気体の巻き込みを低減する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台に隣接して前記開口と正対する略方形状の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記開口部を閉止可能であり、前記蓋を保持して前記開口部を開放することにより前記開口と前記開口部とを連通させるドアと、を有する前記蓋の開閉システムに用いられるパージ用パイプユニットであって、
前記開口部において前記載置台が配置される側とは異なる側の前記開口部における前記略矩形上の開口部の一辺である第1の辺の外側に配置されて前記第1の辺の対辺である第2の辺に向かって不活性ガスを略線状に放出可能なノズル開口を有するカーテンノズルと、
前記カーテンノズルの少なくとも一部を覆い前記カーテンノズルの前記ノズル開口の周囲のガスが前記カーテンノズルから放出される前記不活性ガスの流れに巻き込まれることを防止するカバーと、を有することを特徴とするパージ用パイプユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031FA03
, 5F031FA09
, 5F031NA04
, 5F031NA13
出願人引用 (2件)
-
基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-311822
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
-
処理システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-188551
出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (5件)
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